高纯度硼酸在半导体领域的应用升级,核心是纯度突破与功能拓展双驱动,成为半导体制造的关键材料。
一、应用升级核心方向
纯度标准再升级,适配先进制程。半导体级硼酸纯度已从99.99%(4N)提升至99.9995%(5N5)以上,单项金属杂质含量控制在0.01ppm以内,满足12英寸晶圆制造需求。
功能场景持续拓展,覆盖多核心工艺。不仅作为掺杂剂调节半导体导电性能、提高电子迁移率,还用于晶圆清洗去除表面污染物,同时在立方氮化硼(cBN)加工材料制备中发挥关键作用。
配套性能同步优化,契合低碳与需求。通过工艺改良降低产品杂质对半导体器件的影响,助力提升芯片稳定性,同时适配半导体产业绿色制造趋势。
二、升级背后的关键支撑
技术突破打破瓶颈。离子交换树脂法、膜分离提纯等技术的应用,使高纯度硼酸量产能力提升,国产自给率已达43%,逐步替代日本进口产品。
市场需求拉动。半导体产业对高*材料的需求年均增速达20%,12英寸晶圆每万片消耗硼酸1.8-2.2吨,推动应用技术持续迭代。
政策导向准确赋能。工信部将高纯硼酸纳入关键战略材料目录,专项基金支持提纯技术攻关,加速应用升级进程。